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정 제조플랫폼 구축이 필요하다. SiC 화합물반도체 제조 핵심장비 8종을 우선 구축하고, TP의 인력과 공정기술 데이터를 활용해 기업 표준화 공정을 확립한다.‘SiC 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성’ 사업은 기판 결함 분석부터 설계·제조 공정 연계 검증까지 가능한 통합 분석 플랫폼을 구축하는 게 목표다. 부산대 동의대 TP가 협력해 기판 결함 검사장비

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